離子滲氮是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，工件接高壓直流電源的負(fù)*，真空鐘單接正*。將真空室的真空度抽到66.67Pa后，充人少量氮?dú)饣驓錃?、氮?dú)獾幕旌蠚怏w。當(dāng)電壓調(diào)整到400~800V時(shí)，氮即電離分解成氮離子、氫離子和電子，并在工件表面產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。正離子受電場(chǎng)作用加速轟擊工件表面，使工件升溫到滲氮溫度。氮離子在鋼件表面獲得電子，還原成氮原子而滲人鋼件表面并向內(nèi)部擴(kuò)散，形成滲氮層。